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激光清洗系统

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参考价: ￥ 10000000

订货量: ≥1 台

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产品型号ZYJG-2000

品牌其他品牌

厂商性质其他

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所在地廊坊市

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更新时间：2025-07-05 00:31:28浏览次数：1318次

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准源激光技术河北有限公司

经营模式：其他

商铺产品：9条

所在地区：河北廊坊市

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产品简介

产地	进口	激光器类型	其他激光器

专业的全自动芯片PAD管脚清洗设备，稳定性好、加工质量好、成品率高、加工效率特别快。
Ex-light是新一代准分子激光清洗系统。通过光束传导、匀化、投影技术，使激光均匀照射到材料表面，对材料进行紫外激光加工。该系统结构设计紧凑，集成度高，光路稳定实用，光斑匀化效好，传输效率高，增强样品表面激光能量密度，提高加工质量和效率。

详细介绍

激光清洗系统

应用行业：

1、微电子行业：晶圆面板激光清洗、电路板清洗；

2、OLED微型显示器芯片：芯片管脚PAD焊线前激光清洗、液晶显示器清洗；

3、文物艺术品保护：无损还原；

4、汽车产业：各种焊接处焊后激光清洗；

5、其它：材料表面各种杂质、氧化物、微小颗粒物、油污去除。

技术特点：

1、静态气体寿命 >30天；

2、激光器寿命 >20亿次脉冲；

3、多种光路方案，可定制；

4、反射/透射照明；

5、X，Y位移台安装在刚性花岗岩基座上，线性驱动，1μm分辨率；

6、电动焦点控制（沿Z轴）；

7、配有同轴和离轴相机，模式识别软件可选；

8、快速响应时间，易于操作的软件；

9、同轴机器视觉示意图，所见即所得。

光束传播特点：

1、能量控制 10-80% ；

2、投影缩倍4x-20x ，可定制；

3、工作距离>25mm；

4、目标能量密度 0.25-10J/cm? ；

5、同轴显微成像；

6、光斑匀化系统。

软件功能：

1、图形化加工路径显示；

2、晶圆自动聚焦、自动对位；

3、大视野晶圆导航图；

4、激光参数设定及调试；

5、加工进程控制、中断自动恢复；

6、芯片参数导入；

7、坏点剔除功能；

激光清洗系统参数：

波长	193nm /248nm
脉冲宽度	5-10 ns
单光斑加工面积	＞400um x400um
光学分辨率	1um
能量密度	>10J/cm?
脉冲稳定性	≤2%
脉冲重复频率	1-1000Hz
系统框架	大理石光学基座以及金属框架结构
机器视觉	同轴照明/观察，所见即所得
投影物镜	紫外超长工作距离物镜
掩膜版位移台	100mm x100mm，定位精度:±1um
Z轴电动平台	50mm行程，±1μm重复定位精度
衰减器	电动可调、调节范围15%-80%
控制软件	LPCPro3D自动加工处理软件