圆度仪MMQ200

圆度测量单元， C-轴

圆度误差 (μm+μm/mm 测量高度)**

0.03 + 0.0006

圆度误差 (μm+μm/mm 测量高度)*

0.015 + 0.0003

轴向跳动 (μm+μm/mm meas. radius)**

0.04 + 0.0006

轴向跳动 (μm+μm/mm meas. radius)*

0.02 + 0.0001

调心调平工作台

手动

工作台直径 (mm)

160

工作台承重， 无偏心 (N)

200

转速 (rpm) 50 Hz/60 Hz

1to15

垂直直线测量单元， Z轴

定位行程 (mm)

-

电机驱动测量长度（mm）

250

直线度误差/100 mm测量长度 (μm)**

0.15

直线度误差/全行程长度(μm)**

0.3

平行度误差Z/C轴，沿测头扫描方向(μm-mm)

0.5

测量速度(mm/s)

0.5to5

定位速度(mm/s)

0.5to100

水平直线测量单元， X轴

定位行程 (mm)

自动150

电机驱动测量长度（mm）

-

直线度误差/100 mm测量长度 (μm)**

-

直线度误差/全行程长度(μm)**

-

垂直度X/C轴(μm)

-

定位速度 (mm/s)

0.5to30

测量速度

-